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晶圆片无尘室烘干箱,多层充氮无氧烘箱设备厂
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发布时间: 2016-10-27 15:15
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晶圆片无尘室烘干箱,多层充氮无氧烘箱设备厂

上海旦顺实业有限公司,专用烘箱设备制造商。每台烘箱都严格按照标准,做工精致!烘箱性能稳定!此款烘箱适用于半导体行业!

一、充氮无氧烘箱特点:

 1..全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;

 2..适合于无尘室环境中使用

 3. 日本富士P.I.D智能温控仪表,操作便捷!

 4. 六个腔体独立控制,节省空间,操作方便!

 5. 全不锈钢材质,外观精致美观!

二、充氮无氧烘箱主要参数:

 1. 产品型号及名称:充氮无氧烘箱 ANN-6D

 2. 规格尺寸:工作尺寸:W450*H380*D450(6腔体)

 3..温度范围:RT10℃~250℃,40-45分钟(空箱测试)

 4. 温度控制:精度±0.5%;

 5. 温度均匀:±2% (空箱测试)

 6.     率:18KW

 7.     温:采用风冷降温方式

 8. 加 热 器:特质复合式SUS304#不锈钢无尘电热产生器

 9. 保温材质:120K级高密度硅酸铝纤维填充,保温层厚度为100mm

 10 每个工作腔配置独立的氮气流量计。

 11.温控系统:

温控装置:富士P.I.D智能温控仪表, LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、八段程

序控制(六套)。

    温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器。

    测温装置:1PT100铂电阻温度传感装置,测温。

    定时装置:HS48S-99.99定时仪表。

 12.完善的安全保护措施:

炉门自锁装置//漏电断路器//超温保护//超时报警//马达过载电流保护//机台异常蜂

鸣器警示

公司名称:上海旦顺实业有限公司

业务经理:蒋鑫手机号:

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