砷化镓材料显影后的高温烘烤箱，无尘室专用烘箱

一．用途:

无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

二．特点：

1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100

2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：3"φ(附自动启闭风门)

4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到温度控制精度。

三．产品技术参数：

1.无尘等级：Class 100;

2.温度范围： +60～ +250℃；

3.升温速度：常温～+200℃,升温速度>6℃/min  ,

4.温度均匀度：±2.5℃;（空载）

5.温度度：±1℃（空载）

6.设备型号：

7.全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

8.内胆材料：采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；

9.中桶材料：采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。

10.保温材料：采用正厂中央玻璃纤维公司出品，100K级高密度高保温板制造。

11.电 热 器：采进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。

12.温 控 器：采用日本OMRON E5A型温度控制器，控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定，度±0.3%FS。

13.完善的安全保护措施：漏电保护/过热保护报警/电机保护报警/ 门锁工作时门自动锁/异常显示(三色警示灯)