定制CMOS工艺专用超洁净烘箱,无尘室烘箱
上海旦顺实业有限公司(DONE-E)是一家集生产、销售、服务于一体的烘箱、环境试验箱、防潮箱产品及提供环境温湿度管理专业解决方案的供应商。公司已建立以环境试验设备、烘箱、隧道炉等产品为主体的加工基地。。作为中国领先的环境管理系统提供商。公司专门为半导体、电子、医药、实验室提供各种环境管理解决方案。
Class 100精密无尘烘箱/烤箱COL-2D
工作尺寸:W610×H610×D610(上下)
外形尺寸:W1750×H1805×D1250
功率:14KW
Class 100无尘烘箱性能特点:
1.全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘
2.采用特殊风道设计,经美国进口H.E.P.A送风,过滤效率99.99%,
3.控制器采用韩国进口三元TEMP360温控仪表,操作便捷!
4.完善的保护措施,安全可靠!
主要技术参数:
1.无尘等级:Class 100;
2.温度范围: +60℃~ +250℃;
3.温度均匀度:±1.5%;
4.温度波动度:±0.5℃(空载)
5.温控精度:±0.1℃;
6..排 气 口:ф50;
7..加热方式:无尘加热器;
8.压缩气体过滤器,可把气体过滤到CLASS 10,
9.箱体材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁可防止微尘;
10.内胆材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
11.中桶材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
12.保温材料:超细玻璃棉;
13.控制器采用多段式微电脑温度控制器,具有PID控制参数自动整定功能。
14.运行方式:恒定运行;
15.温度测量:采用特制锴装铂电阻;
16..温控输出:SSR输出
17.完善的安全保护措施:漏电断路器/超温保护/欠相保护/马达过载电流保护/机台异常蜂鸣器警示