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光刻工艺硅片清洗烘干/软烘/后烘/硬烘专用无尘烘箱
品牌: 上海旦顺
报价: 56000.00元/台
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库存: 300 台
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有效期至: 长期有效
发布时间: 2013-07-16 15:44
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详细信息
光刻工艺硅片表面清洗烘干/软烘/后烘/硬烘专用300度百级旦顺无尘烘箱

本公司生产的COL-系列无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class100.

无尘烘箱特点:

1:全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

2 :采用进口SUS304#日制8002mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE

3:采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门

(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)

技术参数:

1. 百级无尘烤箱型号:COL-2

2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500

3. 温度范围:RT60300

4. 无尘烤箱洁净度:100级;

5. 温度均匀性: ±1.5%

6. 度:±0.5

7.     源:380V 50Hz  7.5KW

8. 箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE),内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,保温材料:超细玻璃棉; 

9. 空气循环装置:大容量轴流电机;

10. 加热方式:不锈钢电加热器;

11. 温度测量传感器:Pt100 铂电阻;

12. 控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1

13. 超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;

14. 控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;

15. 口:ф50

16.     板:2层,不锈钢方通,承重约30KG

无尘烤箱热线:02 传真:02联系人:蒋鑫,

网站:www.done-e.com.

 

光刻工艺硅片表面清洗烘干/软烘/后烘/硬烘专用300度百级旦顺无尘烘箱
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