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350度晶圆清洗干燥箱,高温洁净干燥箱
品牌: 上海旦顺
型号: PHH-270
材质: 内胆不锈钢外壳烤漆
报价: 18500.00元/台
最小起订: 1 台
库存: 300 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
有效期至: 长期有效
发布时间: 2014-11-14 14:22
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详细信息
350度晶圆清洗干燥箱,高温洁净干燥箱

一、高温充氮洁净产品特点

    1.箱体周身做密闭氩弧焊接 耐高温硅胶迫紧

    2.选用优质不锈钢板材,防止产生PARTICLE

    3.安装氮气控制装置,箱体可以接入氮气使箱内洁净;

    4.SUS304#不锈钢无尘化电热产生器,防机台本身产生微尘;

    5.120K级高密度硅酸铝纤维填充,箱体内部高达350度外部不超过45度

    6.特殊结构设计,含氧量:<500PPM

二、主要技术参数

  2.1产品名称:洁净充氮烤箱

  2.2产品型号:PHH-270

 2.电源:AC38050HZ

 2.4 功率:6.5Kw

 2.4 规格尺寸工作尺寸(mm)W600×H900×D500

              外部尺寸(mm)W980×H1620×D760

  2.5 温度范围:常温+30~350℃

  2.6 含氧量:<500PPM

  2.7 均匀性能:±2.0%(空箱测试)

  2.8箱体结构:

  机台结构:温控器位于箱体顶部,特殊门设计

  内壁材质:内胆材料,采用 SUS1.5mm厚度优质不锈钢钢板,周身做密闭氩弧焊接。

  外部材质:外部采用1.2mm厚度冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤。

  保温材质:120K级高密度硅酸铝纤维填充,保温层厚度为120mm。
                                  

  2.9 电气系统:

  控温方式:讯号来源,采用 PT100 铂电阻 感应棒±0.5%

  温控装置:日本富士智能程序温控仪表 LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。

  温控输出:SSR输出     

  氮气控制装置:氮气流量计,氮气进出口。
    
                                                                 

               2.10 电加热器:采用覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化U型管状(不锈钢SUS304#电热发生器

 2.11 完善的安全保护措施:漏电断路器/超温保护/开门氮气自动中断保护/马达过载电流保护

             洁净烘烤     传真:02  ,联系人:周高超 ;

                               联系人:蒋鑫,参考网站:http://www.done-e.com.

      

 

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