350度晶圆清洗干燥箱,高温洁净干燥箱 |
一、高温充氮洁净产品特点:
1.箱体周身做密闭氩弧焊接, 耐高温硅胶迫紧;
2.选用优质不锈钢板材,防止产生PARTICLE;
3.安装氮气控制装置,箱体可以接入氮气使箱内洁净;
4.SUS304#不锈钢无尘化电热产生器,防机台本身产生微尘;
5.120K级高密度硅酸铝纤维填充,箱体内部高达350度外部不超过45度
6.特殊结构设计,含氧量:<500PPM
二、主要技术参数
2.1产品名称:洁净充氮烤箱
2.2产品型号:PHH-270
2.3 电源:AC380V 50HZ
2.4 功率:6.5Kw
2.4 规格尺寸:工作尺寸(mm):W600×H900×D500
外部尺寸(mm):W980×H1620×D760
2.5 温度范围:常温+30~350℃
2.6 含氧量:<500PPM
2.7 均匀性能:±2.0%(空箱测试)
2.8箱体结构:
机台结构:温控器位于箱体顶部,特殊门设计。
内壁材质:内胆材料,采用 SUS1.5mm厚度优质不锈钢钢板,周身做密闭氩弧焊接。
外部材质:外部采用1.2mm厚度冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤。
保温材质:120K级高密度硅酸铝纤维填充,保温层厚度为120mm。
2.9 电气系统:
控温方式:讯号来源,采用 PT100 铂电阻 感应棒±0.5%。
温控装置:日本富士智能程序温控仪表, LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。
温控输出:SSR输出
氮气控制装置:氮气流量计,氮气进出口。
2.10 电加热器:采用覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化U型管状(不锈钢SUS304#)电热发生器
2.11 完善的安全保护措施:漏电断路器/超温保护/开门氮气自动中断保护/马达过载电流保护
洁净烘烤 传真:02 ,联系人:周高超 ;
联系人:蒋鑫,参考网站:http://www.done-e.com.
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