100度/200度/300度可设定class10级晶圆片烘烤无尘烘箱 |
一、双层无尘烘箱产品概述: 本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423.2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。 二、双层无尘烘箱主要技术指标: 2.1产品型号:COL-2D(双箱) 2.2无尘等级:Class 10; 2.3温度范围: +60~ +300℃; 2.4升温速度:常温~+200℃,升温速度>6℃/min ,降温速度 3℃/min(适用于150℃~80℃); 2.5温度均匀度:±2.5℃;(空载) 2.6温度度:±1℃(空载) 2.7工作室尺寸:W700×H500×D600 2.8电 源:380v , 50Hz 2.9环境条件:温度 5~40℃;湿度 ≤85%R.H 2.10气压:86~106Kpa 三、双层无尘烘箱箱体结构: 3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成,结构合理,外观美观大方; 3.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘; 3.3箱体材料:SUS304#不锈钢板; 3.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE; 3.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。 3.6 保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K级高密度高保温板制造。 3.7电热器:采进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。 3.8洁净度:烤箱内部均采无尘化配件及材料。 双层无尘烤箱热线:021-37693997,15221744475 传真:021-37832075联系人:蒋鑫, 网站:www.done-e.com. |