IC芯片背面贴膜/IC划片清洗后烘干/陶土模具专用充氮洁净烘箱 |
一、充氮洁净烘箱概述:洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。 二、充氮洁净烘箱技术参数 1、充氮洁净烘箱型号: PHH-1008 2、充氮洁净烘箱主要技术指标: 2.1温度范围: RT(室温)+10~ +300℃; 2.2温度偏差:≤±2.0℃; 2.3升温速度:≥5℃/min(全程平均); 2.4电源:AC380V 3φ 50HZ 8KW 3、充氮洁净烘箱箱体结构: 3.1箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE); 3.2内室材料:内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢; 3.3保温材料:超细玻璃棉; 3.4排 气 口:ф50;3.5 隔 板:2层,不锈钢方通,承重约30KG;3.6空气循环装置:大容量轴流电机;3.7加热方式:不锈钢电加热器; 4、充氮洁净烘箱温控系统 4.1温度测量传感器:Pt100 铂电阻; 4.2控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃; 4.3超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全; 4.4控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件; |